LithoHoD: A Lithography Simulator-Based Hotspot Detection Framework for Integrated Circuit Layouts
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内容提要
本研究提出了一种先进的热点检测框架,结合了光刻模拟器和物体检测网络,通过交叉注意力模块提取特征进行融合,能够检测潜在的热点区域。实验结果显示其在实际数据上优于现有的最新方法。
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关键要点
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本研究提出了一种先进的热点检测框架。
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该框架结合了光刻模拟器和物体检测网络。
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通过交叉注意力模块提取特征进行融合。
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能够检测潜在的热点区域。
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实验结果显示其在实际数据上优于现有的最新方法。
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