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LithoHoD: A Lithography Simulator-Based Hotspot Detection Framework for Integrated Circuit Layouts
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原文英文，约100词，阅读约需1分钟。
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内容提要
本研究提出了一种先进的热点检测框架，结合了光刻模拟器和物体检测网络，通过交叉注意力模块提取特征进行融合，能够检测潜在的热点区域。实验结果显示其在实际数据上优于现有的最新方法。
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关键要点
- 本研究提出了一种先进的热点检测框架。
- 该框架结合了光刻模拟器和物体检测网络。
- 通过交叉注意力模块提取特征进行融合。
- 能够检测潜在的热点区域。
- 实验结果显示其在实际数据上优于现有的最新方法。
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