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国产浸没式DUV量产传闻的四道门
原文中文，约7400字，阅读约需18分钟。
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内容提要
国产浸没式DUV量产传闻的四道门 国产浸没式DUV光刻机是否真的量产，不能只看“今年5台、明年20台”的匿名消息。本文完整拆解国产光刻机量产传闻的事实边界：开始组织生产不等于下线，准备交付不等于客户收货，更不等于通过客户工艺验证。文章同时解释中芯国际、华虹半导体、长鑫存储为何成为首批拟接收方，DUV多重曝光如何用于先进芯片，以及投影物镜、激光光源、精密伺服和光刻胶仍有哪些国产化难点。最后以...
