MetaOptics将在斯坦福大学nano@stanford部署超透镜直写式激光光刻系统
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内容提要
MetaOptics宣布将在斯坦福大学nano@stanford设施部署超透镜直写式激光光刻系统，该系统专为4英寸玻璃晶圆设计，具备100nm精度，可快速制造超透镜样品并支持小批量生产，适用于共封装光学、高速互连及成像等领域。nano@stanford将管理该系统并向其成员开放使用。
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