美国指责荷兰阿斯麦（ASML）将EUV光刻机零件流入中国，阿斯麦否认整机在华。美国商务部长怀疑阿斯麦设备绕过出口管制，阿斯麦表示全球314台EUV光刻机均不在中国。中国通过DUV光刻机生产7纳米芯片，但EUV技术仍受限。美国希望通过限制核心零部件和认证体系来阻碍中国的光刻机发展。