本文介绍了一种基于深度学习的扫描超透镜显微镜（SSUM）系统，该系统通过将光学超分辨率图像与扫描电子显微镜图像相结合，实现了高细节图像的生成，适用于芯片缺陷检测和生物样品分析。同时，研究探讨了光衍射神经网络（D2NN）在图像分类中的应用，显著提高了准确率，为光学成像和传感系统的发展提供了新思路。