Axcelis投资3500万美元在韩国平泽建设离子注入设备新厂,面积约20万平方英尺,包括仓储、洁净室及培训中心。工厂计划于2026年10月奠基,2028年下半年投产,旨在提升产能并服务半导体行业。
Axcelis Technologies, Inc.将成为2026年亚洲化合物半导体大会的钻石级赞助商,会议定于3月24日至27日在上海举行。Axcelis的CEO Russell Low和全球应用总监Hongchen Zhao将发表演讲,介绍离子注入系统的关键应用。
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