该研究提出了一种基于迁移学习的方法,使用基于物理的流程模型的计算廉价的数据进行 ML 模型训练,然后在少量代价昂贵的实验数据上进行微调,从而降低了新工艺过程物理模型开发的高成本。该方法在 Fused Filament Fabrication 的印刷线宽建模中表现良好,减少了模型开发时间、实验成本、计算成本和预测误差。
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