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半导体测试基础 - 功能测试
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原文中文，约2000字，阅读约需5分钟。
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内容提要
本文介绍了半导体测试中的功能测试，包括测试矢量和测试命令。功能测试验证逻辑功能，通过比较实际结果与预测值判断是否通过。还介绍了功能测试的参数测试法，包括OS测试、VOL/IOL & VOL/IOH测试、VIL/VIH测试和IOZL/IOZH测试。
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关键要点
- 功能测试主要验证逻辑功能，使用测试矢量和测试命令。
- 测试系统周期性输入测试矢量，比较实际结果与预测值。
- 测试矢量是器件逻辑功能的输入输出真值表，强调时序。
- OS测试用于检测开短路，测试流程包括接地、定义电压和检测引脚电压。
- VOL/IOL & VOL/IOH测试监控引脚电压，判断是否符合规格。
- VIL/VIH测试检查DUT是否能正常识别输入逻辑，需供电并监控输出电压。
- IOZL/IOZH测试监控引脚电压，判断是否符合规格。
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