全球TMT-美通国际 · 2025-12-10T02:01:06Z Imec成功采用EUV光刻技术制造晶圆级固态纳米孔 💡 原文中文，约300字，阅读约需1分钟。 📝 内容提要 Imec首次在300毫米晶圆上成功应用EUV光刻技术制造固态纳米孔，解决了变异性和集成问题。该技术可用于生物传感和基因组学，纳米孔尺寸可达10纳米，未来有望实现更小孔径。 🏷️ 标签 EUV光刻 固态纳米孔 基因组学 生物传感 纳米孔尺寸 阅读原文 生成长图 分享链接 已复制链接
