HORIBA加速推进EtaMax技术的本土化承接

HORIBA在2025年收购EtaMax后，持续整合技术。2026年SEMICON China期间，将展示新检测方案，EtaMax样机将在上海嘉定部署，提供先进检测技术。HORIBA在分析技术领域积累丰富，EtaMax的PL晶圆检测技术实现自动化量测，解决量产问题，加速技术本土化。