HORIBA在2025年收购EtaMax后,持续整合技术。2026年SEMICON China期间,将展示新检测方案,EtaMax样机将在上海嘉定部署,提供先进检测技术。HORIBA在分析技术领域积累丰富,EtaMax的PL晶圆检测技术实现自动化量测,解决量产问题,加速技术本土化。
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