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HORIBA加速推进EtaMax技术的本土化承接
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原文中文，约500字，阅读约需2分钟。
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内容提要
HORIBA在2025年收购EtaMax后，持续整合技术。2026年SEMICON China期间，将展示新检测方案，EtaMax样机将在上海嘉定部署，提供先进检测技术。HORIBA在分析技术领域积累丰富，EtaMax的PL晶圆检测技术实现自动化量测，解决量产问题，加速技术本土化。
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关键要点
- HORIBA于2025年收购韩国半导体检测企业EtaMax，持续推进技术整合。
- 在2026年SEMICON China期间，HORIBA将展示整合后的检测方案。
- EtaMax样机将在上海嘉定部署，提供新一代检测技术。
- HORIBA在拉曼光谱、光致发光（PL）光谱等分析技术领域积累丰富。
- EtaMax的PL晶圆检测技术实现实验室级别的光谱精度与产线级的自动化量测。
- EtaMax带来PLATO系列、MiPLATO-SiC系统、PLIMA-LED系列三大技术平台。
- HORIBA在上海嘉定投资超5亿人民币建设的厚立方（C-CUBE）加速技术本土化。
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