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半导体制造无监督故障检测的时间序列数据生成预训练

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内容提要

该文介绍了一种基于 Transformer 的时间序列生成对抗网络 (TTS-GAN) 的扩展方法，可以使用一个模型来拟合具有多个子组件的混合分布。该模型可以生成高维度和长时间序列数据，并在不同条件下具有较好的性能。

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标签

Transformer 半导体 无监督 时间序列 混合分布 生成对抗网络 高维度数据
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