富士胶片推出“圆形Prescale”,简化晶圆键合过程中压力测量

富士胶片推出“圆形Prescale”,简化晶圆键合过程中压力测量

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内容提要

富士胶片推出了“圆形Prescale”,旨在简化半导体晶圆键合过程中的压力测量。该产品适用于12英寸晶圆,能够直观显示压力,提升检测效率,并支持高温环境下的测量,兼容压力图像分析软件和专用装置。

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关键要点

  • 富士胶片推出了“圆形Prescale”,旨在简化半导体晶圆键合过程中的压力测量。

  • 该产品采用圆形设计,适用于12英寸(φ300 mm)晶圆,检测过程中无需裁剪。

  • “圆形Prescale”能够直观显示压力,提升检测效率,降低人力需求。

  • 该产品支持在最高220°C的高温环境下进行压力测量。

  • 压力图像分析软件“FUJIFILM Prescale Mobile”已支持“圆形Prescale”。

  • 专用装置“FUJIFILM Prescale Station”计划于2026年7月起支持“圆形Prescale”应用。

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